معرفی دستگاهی برای اندازه‌گیری لایه‌نشانی

شرکت فناوری کهربا در سال 1390 با ساخت تجهیزات اپتیک و عکسبرداری در حوزه فناوری‌های نوین فعالیت خود را آغاز کرد و پس از ساخت EMC Camera 8.3 -که قابل استفاده در میکروسکوپ‌های الکترونی- در سال 1391 در مرکز رشد پارک علم و فناوری دانشگاه تهران مستقر شد.

این شرکت با استفاده از دانش متخصصان خود فعالیت خود را در این زمینه توسعه داد و دستگاه صخامت‌سنج لایه‌های نازک و دستگاه ارتعاش‌سنج از راه دور را که هر دو ایده‌های نابی بودند که برای اولین بار در دنیا تولید شدند، توسعه داد.

علی صالح، مسئول تولید شرکت فناوری کهربا و دانش‌آموخته مهندسی صنایع بهره‌وری در مقطع کارشناسی ارشد از دانشگاه تهران، در مورد دستگاه ضخامت‌سنج لایه‌های نازک گفت:‌ «این دستگاه نمونه خارجی ندارد و ایده ساخت آن یک ایده داخلی است. زمانی که قطعاتی را لایه‌نشانی می‌کنید، خیلی مهم است که صخامت این لایه‌نشانی را اندازه بگیرید. این دستگاه در این زمان مورد استفاده قرار می‌گیرد و صخامت لایه‌ها را از 20 نانومتر تا یک میکرون و با دقت 2 نانومتر اندازه می‌گیرد».

وی افزود: «در حقیقت این دستگاه با بررسی داده‌های ناشی از پراش فرنل از پله فازی ضخامت لایه‌های نشانده‌شده روی سطوح را با دقت 5 درصد اندازه‌گیری می‌کند».

وی عنوان کرد: «لیزر با توان 5 تا 15 میلی‌وات جهت تامین نور –یا دو طول موج در دستگاه اول- کار می‌کند و توانایی موازی‌سازی نور دارد که برای این کار از دو عدسی و یک پین‌ هل (pin hole) با دقت هم‌خطی 5 میکرون استفاده می‌کند».

صالح در مورد ویژگی‌های دیگر دستگاه گفت: «این دستگاه مجهز به گونیومتر است که دقتی حداقل یک دقیقه در زاویه دارد و دارای موتور برای تغییرات زاویه و مشاهده دیجیتال زاویه و نگهدارنده سه‌محوری نمونه و دوربین است. این دستگاه همچنین مجهز به دوربینی با اندازه پیکسل 5 میکرونی است».

وی در مورد کاربردهای دستگاه ضخامت‌سنج لایه‌های نازک گفت: «اندازه‌گیری ضخامت در مولتی‌لایه‌ها، فلیترهای اپتیکی و دیکروئیک‌ها، صنایع نظامی و الکترونیکی کاربرد دارد و مهم‌ترین کاربرد آن در صنعت نیمه‌هادی و سلول‌های خورشیدی و همچنین صنعت سنسور سازی است».

به گفته وی تاکنون دانشگاه‌هایی چون امیرکبیر، مشهد، تهران، دامغان، شاهرود و قم این دستگاه را خریداری کرده‌اند.